한국반도체연구조합 차세대전력반도체 소자제조전문인력양성

사업소개

동의대학교

  • 교육목표
    • 차세대 전력반도체 단결정 기판 제조공정 특화 인력양성
  • 인프라
    • 대표인프라융합부품소재 핵심연구지원센터, 부산 파워반도체랩연구소 등 운영
    • 특장점전력반도체 기판 소재 성장장비(PVT, 용액성장장비), 가공(Wire saw, Grinder, Polishing 장비, CMP 등) 제조 설비, 분석 및 평가설비(CL, PL, 대면적 AFM, Flatness tester 등) 대부분 보유
  • 입학/문의
    • 모집인원석사과정 6명/년
    • 입학일정전기: 매년 11월 경/후기: 매년 5월 경
    • 홈페이지http://grd.deu.ac.kr/
    • 문의처051-890-2524, mi_seon7@naver.com

교수진

참여교수 및 연구실 정보

교수 이미지
  • 주요이력

    • (1986~1990) 한국과학기술원, 학사
    • (1990~1991) 한국과학기술원, 석사
    • (1991~1995) 한국과학기술원, 박사
    • (1996~1997) North Carolina State University, Raleigh, NC, USA, Post-doctor
    • (1997~2002) 한국전자통신연구원(ETRI), 연구원
    • (2002~현재) 동의대학교 신소재공학부, 교수
  • 대표논문
    (최소 3개, Reference 표기법으로 작성)

    • Won-Jun Lee, Mi-Seon Park, Won-Jae Lee, Young-Jun Choi, Hae-Yong Lee, Characteristic comparison between GaN layer grown on c-plane cone shape patterned sapphire substrate and planar c-plane sapphire substrate by HVPE, J. Crystal Growth. Vol. 493 (2018) 8-14.
    • Young-Gon Kim Su-Hun Choi, Yun-Ji Shin, Seong-Min Jeong, Myung-Hyun Lee, Chae-Young Lee, Jeong-Min Choi, Mi-Seon Park, Yeon-Suk Jang, Won-Jae Lee, Modification of Crucible Shape in Top Seeded Solution Growth of SiC Crystal, Mater. Sci. Forum. Vol. 924 (2018) 47-50.
    • Jeong-Min Choi, Chae-Young Lee, Dae-Sung Kim, Mi-Seon Park, Yeon-Suk Jang, Won-Jae Lee, W. Fan, H. Qu, Xiufang Chen, Xiangang Xu, New Materials for Semi-Insulating SiC Single Crystal Growth by PVT method, Mater. Sci. Forum. Vol. 963 (2019) 46-50.
  • 연구실 소개

    • < 연구실명 : Electronic Materials lab >
    • 본 연구실에서는 이원재 교수님의 지도하에 전력반도체용 및 RF고주파용 SiC 단결정 성장 및 산화갈륨, CaF2 단결정 성장에 관한 연구를 수행하고 있습니다. 또한 다양한 가공장비를 이용하여 잉곳의 웨이퍼링을 진행 후 분석장비를 통해 웨이퍼의 특성평가를 위한 연구를 수행하고 있습니다.