한국반도체연구조합 차세대전력반도체 소자제조전문인력양성

사업소개

서울대학교 교수진

참여교수 및 연구실 정보

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  • 주요이력

    • (1979~1983) 서울대학교, 학사
    • (1983~1985) 서울대학교, 석사
    • (1985~1990) Carnegie mellon university, 박사
    • (1991~1999) LG 반도체, 책임연구원 (선행공정개발실장)
    • (1999~2003) 서울대학교, 조교수
    • (2003~2008) 서울대학교, 부교수
    • (2008~) 서울대학교, 정교수
  • 대표논문
    (최소 3개, Reference 표기법으로 작성)

    • Kyong Kyu Myong et al, ECS J. Solid State Sci. Technol., 12 074004 (2023)
    • Myung Hyun Lee et al, Electrochim. Acta, 419 140389 (2022)
    • Young Yoon et al, Electrochim. Acta, 399 139424 (2021)
  • 연구실 소개

    • < 연구실명 : 소자 공정 연구실 >
    • 본 연구실에서는 김재정 교수님의 지도하에 반도체 패키징용 구리 전해도금 첨가제 개발 및 도금 기법연구, 구리 씨앗층 형성을 위한 무전해 도금법 개발과 같은 metallization 공정과 구리, 코발트 CMP 공정, post-CMP cleaning 공정에 관한 연구를 수행하고 있습니다. 이에 더해 전기화학적 촉매 제조 및 머신 러닝을 이용한 전기화학적 모니터링 방법 개발에 관한 연구도 수행 중입니다.
    • 연구실 소개 이미지