사업소개
부산테크노파크
- 교육내용
- 기 구축된 SiC 전력반도체 공정 및 신뢰성 라인을 활용하여 고효율 전력반도체 소자 공정 실습을 지원
- 국내 중소·중견 기업이 원하는 전문인력양성 서비스 지원 체계 확립
- 인프라
- 대표인프라SiC 전력반도체 공정 및 신뢰성 라인
- 특장점구축된 28종의 공정장비를 활용하여 사진공정, 이온주입·활성화, 저저항 형성, 신화막 증착 및 식각공정 등 5代 대표공정을 활용하여 SiC 전력반도체 기업의 공정 전문인력 요구에 따라 공정실습이 가능한 시스템 구축·운영
- 문의